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輥棒式退火爐廠家介紹退火爐的結(jié)構(gòu)
發(fā)布時間：
2023/08/24 20:05
輥棒式退火爐廠家介紹退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的工藝，其包括加熱多個半導(dǎo)體晶片以影響它們的電特性。熱處理是為不同的效果而設(shè)計的?？梢约訜峋該诫s劑，將膜轉(zhuǎn)化為膜或?qū)⒛まD(zhuǎn)化為晶片襯底界面，壓實(shí)沉積膜，改變生長膜的狀態(tài)，修復(fù)注入損傷，將摻雜劑從一個膜移動或轉(zhuǎn)移到另一個膜或從膜轉(zhuǎn)移到晶片襯底?！ ⊥嘶馉t可以整合到其他爐處理步驟中，例如氧化，或者可以單獨(dú)處理。退火爐是通過專門設(shè)計用于加熱半導(dǎo)體晶片的設(shè)備來完成的。退火爐是節(jié)能周期運(yùn)行爐，超節(jié)能結(jié)構(gòu)，纖維結(jié)構(gòu)，省電60%?！ ≥伆羰酵嘶馉t廠家表示熱處理爐分為退火爐，淬火爐，回火爐，正火爐，回火爐，主要用于大型碳鋼，合金鋼零件的退火;對表面淬火部分進(jìn)行回火處理;熱處理工藝，如焊接零件的應(yīng)力退火和老化。加熱方式有電加熱、燃油、燃?xì)?、燃煤、熱風(fēng)循環(huán)等。退火爐是一種新型的換熱設(shè)備?！ ≥伆羰酵嘶馉t廠家介紹退火爐的結(jié)構(gòu): 退火爐骨架采用各類鋼材焊接而成，外框采用槽鋼作為主梁，圍板采用冷板，臺車采用槽鋼作為主梁，底板和前后端板采用中板?！ ⊥嘶馉t傳動部分:小車由前端的一組驅(qū)動輪驅(qū)動，驅(qū)動輪由電機(jī)和減速器通過鏈條驅(qū)動。爐門的傳動采用蝸輪減速機(jī)和電機(jī)組合進(jìn)行電動升降?！ ∶芊?臺車與爐體之間的密封采用迷宮式結(jié)構(gòu)，臺車兩側(cè)設(shè)有自動封砂刀密封裝置。爐門采用自動滾壓和彈簧壓緊機(jī)構(gòu)密封。爐體采用優(yōu)質(zhì)耐火磚，保證爐子的密封性。臺車耐壓部分用高鋁磚砌筑，下部用保溫磚保溫?！ ⊥嘶馉t燃燒系統(tǒng):油爐兩側(cè)安裝多個燃燒器，熱流在爐內(nèi)來回循環(huán)，保證爐溫均勻?？筛鶕?jù)需要選擇自動型和半自動型?！ U氣預(yù)熱裝置:廢氣預(yù)熱裝置安裝在爐子的后上端。爐內(nèi)煙氣通過預(yù)熱器時，被風(fēng)機(jī)送來的冷風(fēng)預(yù)熱，然后通過管道送到燃燒器助燃。出口處裝有手動碟閥，可以調(diào)節(jié)爐內(nèi)壓力。廣泛應(yīng)用于化工、石油、食品、冶金、機(jī)械、輕工、電力、船舶、造紙、采礦、醫(yī)藥、集中供熱等工業(yè)部門的加熱、冷卻、冷凝、蒸發(fā)等工藝過程中。
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